愛發(fā)科ULVAC真空泵

愛發(fā)科ULVAC集團(tuán)，是面向各個(gè)行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設(shè)備、真空儀器、材料、分析設(shè)備，為解決客戶難題，提升客戶企業(yè)價(jià)值，提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團(tuán)。

在愛發(fā)科ULVAC集團(tuán)中，Components Business Unit是負(fù)責(zé)開發(fā)、制造、銷售構(gòu)成綜合性真空設(shè)備多種多樣的真空配套產(chǎn)品的企業(yè)團(tuán)體。真空設(shè)備的性能，是由追求最尖端的真空技術(shù)的各種真空配套機(jī)器來支撐的。

主要產(chǎn)品有：

真空泵(低?中真空)

真空泵(高真空)

真空計(jì)

氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測儀

檢漏儀

高速光譜橢偏儀

水晶振蕩式成膜控制器

真空閥

DC電源

DC脈沖電源

MF電源

愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過獨(dú)創(chuàng)的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。

愛發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列

干泵HR/UR系列，根據(jù)獨(dú)有的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合最多可節(jié)省約88%的電力。另外，提高了維護(hù)性和降低了噪音，全部型號(hào)CE對應(yīng)可能（可選）。

EB槍?EB電源

真空搬送機(jī)器人

分子間相互作用定量QCM設(shè)備

微量精密攪拌器

小型蒸發(fā)設(shè)備

低溫設(shè)備(CRYO)

熱處理?熱物性評估裝置

愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標(biāo)準(zhǔn)（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內(nèi)不使用真空油，因轉(zhuǎn)子和汽缸是不接觸的，可長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

DIS-501

ULVAC

?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。

?可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

?可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

?低振動(dòng)低噪音。

?維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。

上海煜柯銷售愛發(fā)科ULVAC真空泵及真空配套產(chǎn)品，可以提供成套真空系統(tǒng)解決方案。